一、開機畫面

1. 使用 外接電源。

2. 開啟控氣柜供電開關按鈕，發動機預熱15min，將國內流量顯現儀調零。

二煉氣

1. 置于十二個管堵，的安裝蝶閥法蘭。

2. 左古溫區均以3^oC/min不斷升溫至150 ^oC，外保溫30min，加熱的也抽進口正空，抽進口正空時，卡箍將抽氣針閥開文檔一定，待進口正空學習水表降低-0.05 MPa時，分這幾個關鍵期*開文檔（約3圈）針閥，至-0.1 MPa提高30min。

三、的氣體轉移

1. 倒閉抽氣口活套法蘭片上的針閥，訪問氣瓶約至0.04MPa下類，訪問氣柜勤奮努力氣閥Tv1orTv2，也觀擦氣柜上的P1orP2負壓，訪問進氣閥Tv3，再訪問進氣口活套法蘭片上的針閥

2. 拆開網頁MFC1or2至閥控所在位置，很快調“設置好"按鈕至上限（1000ml/min），當法蘭盤真空環境壓強表以達到0.01MPa時，倒閉其上針閥，調流量的為0，拆開網頁抽氣口針閥，抽氣至-0.1MPa，再倒閉抽氣口針閥。

3. 再重新加載進氣口針閥，極慢開人訪問量至最多，進口真空阻力表至0.01MPa，取消進氣口針閥，控制人訪問量為0，加載抽氣口針閥，抽至-0.1MPa，再取消抽氣口針閥，進行重新有害氣體換置。

4. 通過需求多個氣休置換（方法3），一般的五次，關機械泵泵。

四、工作

1. 內充0.01MPa保護區性甲烷氣體，關閉程序進氣口針閥，等爐溫下降在常溫，開放抽氣口卡箍，拿出多個管堵。

2. 放印刷品至pt100座位，放5個管堵至條件座位，進行安裝法蘭部。

3. 確保抽氣口針閥為倒閉環境，張開蒸空泵，再放緩張開針閥，蒸空經濟壓差表下降-0.05MPa，分的階段*張開針閥至-0.01MPa，倒閉抽氣口針閥，倒閉蒸空泵。

4. 瀏覽器使用 進氣口針閥，調接氣柜水留量至更大，使高壓氣各種壓力表明0.01MPa，瀏覽器使用 抽氣口針閥針對排氣口，按照實驗報告標準調接水留量，一樣 為100ml/min。

5. 下方同時設制加溫系統，溫度不要達到300 ^oC。

6. 業務截止，降低室內溫度，弄出來仿品，再植入管堵，裝設法蘭片。

7. 關機進氣口針閥，開放高壓氣泵，抽至-0.01 MPa，內充0.01MPa愛護乙炔氣，關機進氣口針閥。